俄罗斯为35年前的光刻机续命:自研光刻机已亮相(组图)

据国外媒体报道称，俄罗斯近日绕过了制裁，为本国存在了35年的光刻机续命。 报道中提到，尽管欧洲制裁禁止向俄罗斯实体出售任何高科技机器，但俄罗斯公司仍在2022年和2023年成功获得了ASML 1990年代芯片制造机器的备件。 俄罗斯进口商已经想方设法为ASML的PAS 5500光刻工具引进了至少170批备件，而ASML 则表示，近年来没有销售产品或与俄罗斯分销商有任何往来。 ASML的PAS 5500系列200毫米光刻工具最初于1991年推出，并在20世纪90年代和2 世纪初不断发展。如今，PAS 5500系列包括i-line、氟化氪（KrF）步进机以及 i-line、KrF 和氟化氩（ArF）步进扫描系统。 虽然ASML不再生产这些光刻工具，但它销售翻新的PAS 5500机器，并计划将其支持到2035年，因此市场上有大量的备件，尤其是在中国。 不过俄罗斯也根本没啥怕的，在这之前他们首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。 俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里-什帕克指出，该设备可确保生产350nm的芯片。


在俄罗斯看来，尽管350nm的芯片技术相较之下显得落后，但它在汽车、能源和电信等诸多行业中仍有着应用价值。 俄罗斯已经表示，计划到2026年实现65nm的芯片节点工艺，2027年实现28nm本土芯片制造，到2030年实现14nm国产芯片制造。